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长距离限定反射式。适用于晶片定位。非接触式、高精度的激光距离传感器、位置传感器和测量传感器。使用三角反射法的激光位移计。向目标物表面照射带状激光,通过使用CMOS接收其反射光的变化,可以非接触方式测量高度、高度差、宽度等轮廓(截面形状)。通过对连续获取的轮廓数据进行图像处理获得目标物的3D形状,实现高精度测量及检测。
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